0190-06279美国Applied Materials控制器 模块 卡件
规格
输入
信号
接受1到4个接近,空气
间隙、速度或加速度
传感器信号
权力
消耗7.7瓦,典型值
多模式
正输入
输入/输出
50公里Ω
输入阻抗
Prox/Velom(前置器/速度表)
I/O和
多模式
Prox/Velom(前置器/速度表)
输入/输出
10公里Ω 用于Prox/Accel
3.5米Ω 用于Velomitor
体贴
水力径向
振动
和
多模式
液压RV
μm(20mV/mil)时,
3.94 mV/μm(100 mV/mil)或
7.87 mV/μm(200 mV/mil)
液压空气
间隙和
多模式
气隙
μm(5 mV/mil)时,
μm(5.6 mV/密耳),
0.49 mV/μm(12.5 mV/mil)或
0.55 mV/μm(14 mV/mil)
Hydro公司
速度和
多模式
Hydro公司
速度
20 mV/mm/s(508 mV/in/s)
Hydro公司
推力和
多模式
刺
μm(100 mV/mil)时,
7.87 mV/μm(200 mV/mil)或
11.22 mV/μm(285 mV/mil)
Hydro公司
加快
和
多模式
加快
1.02 mV/m/s2(10 mV/g)或
2.55 mV/m/s2(25 mV/g)
30612480000 美国应用材料AMAT
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